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基于豐富的產(chǎn)品，針對不同行業(yè)特性，深入場景，提供智能制造綜合解決方案，助力企業(yè)智能化改造和數(shù)字化轉(zhuǎn)型。 -
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基于豐富的產(chǎn)品，針對不同行業(yè)特性，深入場景，提供智能制造綜合解決方案，助力企業(yè)智能化改造和數(shù)字化轉(zhuǎn)型。
集團(tuán)成員
ENAHYQ3510F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
AHYQ3510F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
AHYQ3510F_4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，自主研發(fā)安全可控，可全面替代進(jìn)口品牌。
產(chǎn)品描述
4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
AHYQ3510F_AHY系列半導(dǎo)體機(jī)器人
- ● 高可靠真空隔離，從容應(yīng)對高真空環(huán)境
- ● 電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)機(jī)器人運(yùn)動(dòng)，提升運(yùn)行可靠性
- ● 高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)手臂高傳動(dòng)精度
- ● 采用閉環(huán)伺服控制，實(shí)現(xiàn)高精度位置控制
- ● 同時(shí)實(shí)現(xiàn)雙工位交換晶圓動(dòng)作（Swap）
臂長
355.5mm
額定/最大負(fù)載
≤1kg
搬運(yùn)物
≤Φ300mm晶圓
關(guān)鍵詞：
新時(shí)達(dá)眾為興AHYQ7010F_4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
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